دانلود مقاله رسوب دهي لايه هاي نازك سخت ويا نرم 30 ص

لینک دانلود و خرید پایین توضیحات
دسته بندی : وورد
نوع فایل :  word (..doc) ( قابل ويرايش و آماده پرينت )
تعداد صفحه : 47 صفحه

 قسمتی از متن word (..doc) : 
 

‏2
‏رسوب دهي لايه هاي نازك سخت ويا نرم
‏مقدمه
‏مورفولوژي يك پوشش بطور عمده به فناوري بكار گرفته شده بستگي دارد. بطور كلي روشهايي كه در آن پوشش از فاز بخار رسوب داده مي‏‌‏شوند. را مي‏‌‏توان دو گروه اصلي تقسيم كرد روش رسوب شيميايي بخار CVD‏ و روش رسوب فيزيكي PVD‏ بعلاوه از روشهايي به نام روشهاي كمكي يا تحريك شده نيز استفاده مي‏‌‏شود. بعنوان مثال روش كمكي پلاسماي رسوب شيميايي بخار PA-CVD‏ يا فرآيندهاي دما توسط مانند روش دما متوسط CVD‏ كه با MT-CVD‏ نمايش داده مي‏‌‏شود نيز گسترش پيدا كرده است. همانطور كه در شكل 5.1 نشان داده شده است بعنوان مثال به روشهاي فوق مواردي مثل پرايدهاي نسوز، كارميدها، نيتريدها ،اكسيدها وتركيب هاي مختلفي از اين گونه پوششها را ميتوان رسوب داد.
‏2
‏5.2 روشهاي رسوب شيميايي بخار
‏5.2.1 طبقه بندي فناوريهاي CVD
‏در روش رسوب شيميايي بخار واكنش كننده ها بصورت گاز تامين شده و واكنشهاي شيميايي در اثر گرما در سطح زير لايه گرم شده انجام مي‏‌‏شوند. در روشهاي CVD‏ معمولا فرآيند در درجه ر600 تا 1100 درجه سانتيگراد انجام مي‏‌‏شود هزينه فرآيندهايي كه در درجه وارستاي پايين تر نيز كار مي كنند بكار گرفته شده است. در جدول 5.1 مي‏‌‏توان روشهايي از CVD‏ كه بيشتر در صنعت ارز برش بكار مي رود را ملاحظه كرد.
In‏ به شكل سنتي خود فناوري CVD‏ بدون فرآيندهاي كمكي در فشار محيط مثل پوشش دهي در فشار محيط APCVD ,CVD‏ يا در فشار پايين مثل پوشش دهي به فشار كم